真空科學(xué)發(fā)展前景展望
隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展、特別是近年來(lái)計算機和微電子學(xué)、生物工程、材料科學(xué)、表面科學(xué)、航天和航海工程等高技術(shù)科學(xué)的發(fā)展,對真空科學(xué)要求越來(lái)越高。真空科學(xué)做為這些高技術(shù)發(fā)展不可缺少的技術(shù)必將起到更加重要的作用。例如,在目前微電子學(xué)及其納米級電子材料和元器件的發(fā)展中。對真空系統不僅要求采用高真空、超高真空和真空氣氛清潔無(wú)油,而且要求耐腐蝕、耐粉塵 。 為了適應這些要求,在真空獲得設備中制造各種于式泵、耐腐蝕泵,進(jìn)一步發(fā)展磁懸浮式分子泵和能夠避免強磁場(chǎng)及等離子體對渦輸分子泵金屬轉子產(chǎn)生渦流發(fā) 熱的用陶瓷做成轉子的新型分子泵,是很必要的。在真空測量方面,我國與國外也存在較大的差距,主要表現在真空規管的結構,電子線(xiàn)路的設計,集成電路和自動(dòng)換擋及數字顯示等新技術(shù)的采用上。因此盡快的改變我國真空測量?jì)x器的現狀,促進(jìn)這一技術(shù)向多用化、自動(dòng)化及體積小、外形美等方面發(fā)展,也是一個(gè)重要的問(wèn)題。此外,追趕當前國際上在極高真空測量和特殊條件下的真空測量頸域中的******水平、也是我國真空工作者一項責無(wú)旁貸的艱巨任務(wù)。
(轉載自:中國真空網(wǎng))