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          F型渦輪分子泵
          • 用途及特點(diǎn)
          • 規格參數
            產(chǎn)品用途:Product Applications
             
            ●渦輪分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。
             
            主要應用領(lǐng)域:Main applications:
             
            ●表面物理和分析儀器
            ●等離子體物理,空間研究
            ●核聚變裝置
            ●原子束分子束系統,粒子加速器
            ●真空鍍膜
            ●真空冶煉
            ●半導體和光學(xué)器件制造

            產(chǎn)品特點(diǎn):Product Features
             
            ●體積小,安裝和使用方便
            ●理想的動(dòng)平衡,震動(dòng)和噪音小
            ●壓力在10-1~10-8pa范圍內有恒定的抽速
            ●陶瓷軸承使用壽命長(cháng)
            F型渦輪分子泵
            Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
            技術(shù)參數Technical specifications:
            型號 
            Model
            FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
            進(jìn)氣口法蘭 
            Inlet flange  (mm)
            DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
            出氣口法蘭 
            Oulet flange  (mm)
            DN40KF DN63LF DN100LF
            抽氣速度  
            Pumping speed  (L/S)
            450 1400 3500
            極限壓力
            Ultimate pressure
            不烘烤
            Without baking  (Pa)
            6×10-6 6×10-6 6×10-6
            壓縮比
            Compression ratio
            對N2 108 108 108
            對H2 102 102 102
            轉速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
            起動(dòng)時(shí)間  
            Start-up time <(Min)
            5 10 20
            前級壓力  
            Fore pressure <(Pa)
            10 10 10
            建議采用的前級泵
            Recommended backing pump  (L/s)
            8 15 30
            冷卻水溫度
            Cooling water temperature <(℃)
            ≤25 ≤25 ≤25
            冷卻水壓力
            Cooling water pressure (Mpa)
            0.196 0.196 0.196
            泵體烘烤溫度
            Temperature of baking <(℃)
            120 120 120
            重量  
            Weight(Kg)
            35 70 125
             

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