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        您好，歡迎光臨成都南光機器有限公司
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          ZZS系列箱式真空鍍膜機
          
      
          
        
      
          
      
          
      
          
        
          • 用途及特點(diǎn)
          • 規格參數
          
      
          
      
          
        
            
          簡(jiǎn) 介
            
 
            
成都南光機器有限公司ZZS系列箱式真空鍍膜機，經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展，形成了真空鍍膜室尺寸從350毫米到3600毫米的箱式真空鍍膜機系列產(chǎn)品。廣泛應用于企業(yè)、科研院所、大專(zhuān)院校的科研和量產(chǎn)化生產(chǎn)領(lǐng)域，是鍍制多層光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜的理想設備。
            
 
            
產(chǎn)品特點(diǎn)
            

            
●采用箱式結構，真空系統后置，便于操作和維修；整機表面平整，方便清潔，特別適合放置在凈化間內做穿墻式安裝。
            

            
●設備真空系統抽速大，具有抽氣時(shí)間短，真空度高，生產(chǎn)周期短等優(yōu)點(diǎn)。
            

            
●采用管狀加熱器上烘烤，烘烤溫度均勻，壽命長(cháng)，可達到******烘烤溫度350℃，烘烤均勻性270℃±10℃。
            

            
●工件轉動(dòng)采用上部中心驅動(dòng)，軸承帶水冷，磁流體密封，轉動(dòng)平穩******。
            

            
●采用石英晶體膜厚控制儀，可實(shí)現鍍膜過(guò)程的自動(dòng)控制。
            

            
●采用******的鍍膜控制系統，人機操作界面美觀(guān)實(shí)用，系統穩定******，可實(shí)現系統的手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)操作。
            
 
            
適用范圍
            
 
            
●用于生產(chǎn)IR-CUT濾光片、分色濾光片、高反射膜、AR膜、長(cháng)波通、短波通和多種電學(xué)薄膜
            
 
            
常用標準配置
            
 
            
●以下表格內容為我公司五種常用標準機型的配置及指標，多年來(lái)我公司先后開(kāi)發(fā)了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500、3600尺寸系列的箱式真空鍍膜機。為滿(mǎn)足廣大用戶(hù)的不同需求，我公司可接受多種形式的真空鍍膜機的定制要求，包括對真空室體尺寸、真空系統配置、工件夾具系統、工件烘烤系統、膜厚監控系統、蒸發(fā)源系統、充氣系統、離子源系統以及電氣控制系統的特殊定制。
            
        
          
        
            
          
            
          
            ZZS系列箱式真空鍍膜機
            
Series ZZS Box-type Vacuum Coating Machine
            
 
            
常用標準配置表
            
Standard configurations for common use
            

            

	
            
	型  號
            
	Model            		
	ZZS600
	ZZS700
	ZZS800
	ZZS900
	ZZS1100
	ZZS1300
	ZZS1800
	
            
	
            
	真空室尺寸(直徑×高)
            
	Size of the vacuum chamber (diameter× height)            		
	Φ600×750
	Φ710×850
	Φ800×900
	Φ900×1000
	Φ1100×1300
	Φ1300×1300
	Φ1800×2000
	
            
	
            
	極限真空度
            
	Ultimate vacuum degree            		
	≤3.0×10-4Pa
	
            
	
            
	恢復真空時(shí)間
            
	Time for vacuum recovery            		
	4.0×10-3Pa≤15min
	
            
	
            
	抽氣系統
            
	Pumping system            		
	擴散泵 Diffusion pump
	K-400
	TK-500
	
	
             K-600 
            
	            		
	K-630
	TK-500×2
	K-630×2
	K-800×2
	
            
	
            
	羅茨泵 Roots pump
	 
	 
	 
	ZJP-150
	ZJP-300
	ZJP-300
	ZJP-1200
	
            
	
            
	機械泵 Mechanical pump
	2X-30
	2X-70
	2X-70
	2X-70
	2X-70
	2X-70
	2X-70，H-150×2
	
            
	
            
	真空測量系統
            
	Vacuum measuring system            		
	配三路數字復合真空計，兩路低真空，一路高真空
            
	Three-way digital compound vacuum gauge, two ways of low vacuum and one of high vacuum            		
	
            
	
            
	操作方式
            
	Operation mode            		
	手動(dòng)/自動(dòng)
            
	Manual/automatic            		
	
            
	
            
	工件夾具
            
	Work piece holder            		
	Φ600
	Φ640
	Φ750
	Φ840
	Φ1040
	Φ1240
	Φ1720
	
            
	
            
	工件烘烤系統
            
	Work piece baking system            		
	上烘烤，鎧裝管狀加熱器加熱，******溫度350℃，PID自動(dòng)控溫及顯示
            
	Up baking; heated by sheathed tubular heating element; maximum temperature 350℃; PID automatic temperature control and display.            		
	
            
	
            
	蒸發(fā)源
            
	Evaporation source
            
	             		
	電阻蒸發(fā)源
            
	Resistance evaporation source            		
	電阻蒸發(fā)源功率4KW（8V、600A）
            
	Power of the resistance evaporation source: 4KW (8V, 600A)            		
	
            
	
            
	電子束蒸發(fā)源
            
	Electron beam evaporation source
            
	             		
	E型電子束蒸發(fā)源，功率6～10KW
            
	Power of E-type electron beam evaporation source: 6-10KW            		
	
            
	
            
	膜厚監控系統
            
	Monitoring system on depth of films            		
	光學(xué)膜厚監控，波長(cháng)范圍380-800nm，9ｏ透反射光路，六位電動(dòng)比較片帶顯示；石英晶體膜厚監控，美國SQC-310、IC/6
            
	The optical film thickness monitor, a wavelength range of 380-800nm, 9ｏtransflective optical path, six electric comparison sheet with display; quartz crystal thickness monitoring, the United States SQC-310, IC / 6            		
	
            
	
            
	充氣系統 charge systems
	自動(dòng)壓強儀2～510-2Pa
            
	Automatic pressure instrument            		
	
            
	
            
	質(zhì)量流量計：?jiǎn)温穯物@，雙路雙顯
            
	Mass flow meter: one way one display, dual way dual display            		
	
            
	
            
	離子輔助（選配）
            
	Ion-assisted (optional)            		
	H6霍爾離子源、H10霍爾離子源、Φ12cm考夫曼離子源、Φ16cm考夫曼離子源
            
	H6 Hall ion source, H10 Hall ion source, Φ12cm Kaufman ion source, Φ16cm Kaufman ion source            		
	
            
	
            
	深冷捕集器（選配）
            
	Cryogenic trap (optional)            		
	國產(chǎn)12P、國產(chǎn)15P、進(jìn)口POLYCOLD550、進(jìn)口POLYCOLD670
            
	Domestic 12P, 15P, POLYCOLD 550, POLYCOLD 670            		
	
            
	
            
	 
            
	動(dòng)力需求
            
	Power demand            		
	冷卻水
            
	Cooling water            		
	壓力溫度
            
	Pressure and temperature            		
	壓力：0.25～0.35MPa；溫度≤25℃
            
	Pressure: 0.25-0.35MPa; temperature ≤25℃            		
	
            
	
            
	流量
            
	Flow rate            		
	≥50L/min
	≥60L/min
	≥80L/min
	≥100L/min
	≥140L/min
	≥160L/min
	≥180L/min
	
            
	
            
	壓縮空氣
            
	Compressed air            		
	壓力：0.5～0.7MPa
            
	Pressure: 0.5-0.7MPa            		
	
            
	
            
	******消耗電力
            
	Maximum power consumption            		
	～25KW
	～35KW
	～40KW
	～45KW
	～50KW
	～60KW
	～120KW
	
            
	
            
	設備外形尺寸（寬×深×高）
            
	Overall dimension (width×depth×height)            		
	2100×1800×2000
	3350×2600×2370
	3580×3000×2450
	3870×3600×2670
	3870×3600×2670
	3900×4050×2950
	4400×4000×3600
	
            
	
            
	設備總重（KG）
            
	Gross weight (Kg)
            
	             		
	約1500
            
	About 1,500            		
	約2000
            
	About 2,000            		
	約2500
            
	About 2,500            		
	約3000
            
	About 3,000            		
	約3000
            
	About 3,000            		
	約4000
            
	About 4,000            		
	約6000
            
	About 4,000            		
	
            
            

            

             
            

             
            
 
            
          
            
        
          
      
          
    
          
    
    
          
        
          
        
    
          
  
          
  

          






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